Sputter load & Unload Machine

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功能说明:
机台兼容Carrier & Ring 上料
上料可实现料车及轨道上料两种方式
物料采用六轴机械手搬运
上料有缓存功能,可缓存20pcs,先进先出功能
上料有扫码上传 MES功、Lot管控功能
入炉前有大托产品表面吸尘功能
机台下料的Carrier & Ring有冷却功能、降到常温
下料采用料车的方式,可兼容Carrier 及 Cassette下料

应用领域:
芯片封装行业
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