공정 설명:
RFID 판독 및 기록, 박스 내부의 웨이퍼 상태 비전 검사, FOSB 부품 제거, 라벨 인쇄 및 부착, PE 및 알루미늄 백의 진공 열봉인, 열봉인 품질에 대한 비전 검사 수행.
주요 사양:
•청정도 기준: 클래스 10 클린룸
•클린룸 로봇: KUKA 클린룸 로봇 × 3대
•FOSB 투입 스테이션과 열봉인 공정 완료 후 CCD 검사 수행
•UPH(시간당 처리량): 20 FOSB
•장비 크기: 4500(L) × 5600(W) × 2600(H) mm
적용:
300mm FOSB/FOUP의 자동 포장 및 봉인에 적합하며, 다른 규격의 웨이퍼 캐리어 포장 요구에도 맞춰 조정 가능.
