晶圆盒清洗机

制程说明:

此设备在清洗室使用含清洗剂的去离子水清洗产品，在冲淋室使用去离子水，在干燥室使用加热的干燥洁净空气烘干产品 （FOUP&FOSB)

关键参数:

洁净标准:千级无尘室标准

材料:大部分采用进口材料和品牌

软件:使用Wonderware软件来做制程中实时操作管理

条码跟踪:使用RFID扫码枪来扫描跟踪FOUP&FOSB上的RFID码

PLC:西门子PLCS7-300

CT:20个载体篮子/hrs.