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晶圆盒清洗机

Name: 晶圆盒清洗机
Rating: 4.9 (83 reviews)

此设备在清洗室使用含清洗剂的去离子水清洗产品，在冲淋室使用去离子水，在干燥室使用加热的干燥洁净空气烘干产品（FOUP&FOSB)

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制程说明：

此设备在清洗室使用含清洗剂的去离子水清洗产品，在冲淋室使用去离子水，在干燥室使用加热的干燥洁净空气烘干产品（FOUP&FOSB)

关键参数:

-- 洁净标准:千级无尘室标准

-- 材料:主要采用进口材料和品牌

-- 软件:使用Wonderware软件来做制程中实时操作管理

-- 条码跟踪:使用RFID扫码枪来扫描跟踪FOUP&FOSB上的RFID码

-- PLC:西门子PLCS7-300

-- CT:20个载体篮子/hrs。

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制程说明：

此设备在清洗室使用含清洗剂的去离子水清洗产品，在冲淋室使用去离子水，在干燥室使用加热的干燥洁净空气烘干产品（FOUP&FOSB)

关键参数:

-- 洁净标准:千级无尘室标准

-- 材料:主要采用进口材料和品牌

-- 软件:使用Wonderware软件来做制程中实时操作管理

-- 条码跟踪:使用RFID扫码枪来扫描跟踪FOUP&FOSB上的RFID码

-- PLC:西门子PLCS7-300

-- CT:20个载体篮子/hrs。

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